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全自動水平式濕法刻蝕設備
全自動水平式濕法刻蝕設備，利用EFEM晶圓傳（chuán）輸模塊實現晶（jīng）圓（yuán）全自動工藝運行.
產品特點
1.產能高，WPH高；
2.優秀的腔體（tǐ）環境；
3.高效的化學品回（huí）收係統；
4.支（zhī）持多（duō）種化學品；
5.刻（kè）蝕均勻（yún）性好（hǎo）；
6.優秀的幹燥效果。
應（yīng）用領域
晶圓（yuán）製造等
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